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1月16日光刻机（胶）板块较上一交易日上涨1.65%，芯碁微装领涨。当日上证指数报收于3227.59，上涨1.01%。深证成指报收于11785.77，上涨1.58%。光刻机（胶）板块个股涨跌见下表：
从资金流向上来看，当日光刻机（胶）板块主力资金净流出1.53亿元，游资资金净流出598.89万元，散户资金净流入1.59亿元。光刻机（胶）板块个股资金流向见下表：
北向资金方面，当日光刻机（胶）板块北向资金持股市值为70.43亿元，增持2.55亿元。其中增持最多的是大族激光，增持了0.66亿元。减持持最多的是赛微电子，减持了162.27万元。光刻机（胶）板块北向资金持股变动明细见下表：
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